产品优势
产品迭代更新
装机总量超过700台
产品优势
100%自产子系统模块
经过大规模市场验证
成熟可靠
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| 产品特色 | 双台面高解析 |
| 最大基板尺寸 | 630mmx730mm（有效曝光尺寸623mmx730mm) |
| 最小基板尺寸 | 250mmx250mm（单机），300mmx300mm（自动线） |
| 基板厚度 | 0.05mm~5mm（单机），0.1mm~3.5mm（自动线） |
| 工艺解析l/s | 25µm/25µm |
| 线宽精度 | ±10% |
| 景深 | ±300µm |
| 层间对位精准度 | 20µm |
| 外层对位准精度 | ±10µm |
| 曝光时间(623mmx680mm&四点对位，不含上下板） | 8.5秒/面＠50mj/cm2 |
| 生产效率(623mmx680mm&四点对位） | 7面／分钟＠50mj/cm2 |
| 光源功率 | 24w（可选48w) |
| 单机台面数量 | 上下交互双台面 |
| 内层线路模组 | 内外层通用 |
| 单机设备重量 | 5000kg |
| 单机外形尺寸 | 3150mmx1700mmx1950mm |
| 自动线外形尺寸 | 6380mmx3460mmx2455mm（不含收放板机） |
| 工作高度（输送高度） | 1030±20mm |
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